Di kilang pengeluaran semikonduktor, wujudnya sebanyak satu mikron kelembapan pada filem pemisah bateri sudah cukup untuk menyebabkan litar elektrik terputus, dan seterusnya merosakkan keseluruhan kumpulan bateri tersebut. Proses pembakaran perlu dilakukan dalam keadaan yang konsisten, sebagaimana yang ditetapkan oleh spesifikasi metrologi, bukan sekadar anggaran kasar. Pemanas konvensional sering menunjukkan variasi suhu, dan jumlah zarah di udara juga meningkat. Ini merupakan risiko yang tidak boleh diterima.
Apa yang penting dari segi teknikal
Kami telah membina alat pengering filem pemisah ini berdasarkan prinsip-prinsip pengeluaran semikonduktor: suhu perlu dikekalkan pada tahap yang konsisten, iaitu antara ±0.1°C. Selain itu, pemanasan menggunakan cahaya NIR dapat membantu proses pengeringan dengan cepat, tanpa merosakkan permukaan polimer. Bilik pengeringan ini sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih dari tahap Class 1 hingga Class 100. Permukaannya dirancang agar bebas daripada zarah-zarah, dan penggunaan bahan-bahan yang sesuai dapat memastikan tiada zarah dihasilkan. Kawalan suhu yang tepat memastikan kadar pengeringan yang konsisten, serta dimensi filem yang stabil. Alat ini boleh beroperasi 24/7, dan sistem penyelenggaraan preskriptif dapat mengelakkan masa henti yang tidak dijangka, sambil memastikan masa proses tetap konsisten.
Mengapa ia berkesan dalam praktik
Anda tidak memerlukan cara-cara yang rumit – yang penting adalah konsistensi. Alat pengering ini memastikan suhu tetap stabil, sehingga proses pengeringan berjalan dengan baik setiap kali ia digunakan. Konsistensi suhu yang tinggi dapat mengurangkan kecacatan pada filem, meningkatkan kadar pengeluaran, dan memendekkan masa pemanasan. Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana cahaya NIR digunakan untuk memanaskan filem secara langsung, bukan seluruh bilik pengeringan. Dalam proses litografi, ketepatan ini sangat penting, kerana dimensi filem akan tetap stabil, dan kecacatan dapat dikurangkan.
Apa yang perlu diperhatikan
Cahaya NIR memerlukan pandangan yang jelas dan emisiviti yang terkawal. Jika filem tersebut mengandungi bahan reflektif, maka diperlukan litar lampu yang disesuaikan, serta kaedah kalibrasi yang tepat. Pemasangan alat ini mudah dilakukan di fasiliti baru. Namun, untuk pembaikan, diperlukan sistem kuasa dan sistem pengudaraan yang berkualiti tinggi, serta strategi yang efektif untuk menguruskan wap pelarut. Lakukan ujian awal untuk menentukan zon panas dan menyesuaikan profil pemanasan. Setelah dikalibrasi, alat ini akan berfungsi dengan baik, sama seperti alat pengering wafer yang lain.