http://ir-heat-global.com/ko/tags/tool/ Recent content in Tool on Global Infrared Heating Systems Hugo ko Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="웨이퍼 공정용 온도 센서"></p> <p>적외선을 활용해 무연 처리를 제대로 수행하는 방법<br> 웨이퍼를 다루는 작업을 할 때, 엄격한 환경보호 규정이나 무연 요구사항을 준수해야 한다면, 기존의 대류식 오븐은 그다지 효과적이지 않다는 것을 아실 것입니다. 대류식 오븐은 처리 속도가 느리고 에너지도 많이 소모됩니다.<br> 그래서 우리 대부분은 적외선을 활용한 처리 방식으로 전환했습니다.<br> 진짜 비결은 이렇습니다. 적외선은 웨이퍼 주변의 공기를 가열하지 않고, 에너지를 직접 웨이퍼 표면에 전달합니다.<br> <strong>이것은 열에 대한 우리의 인식을 완전히 바꾸는 것입니다.</strong><br> 거대한 금속 챔버를 사우나처럼 만들기 위해 수킬로와트의 에너지를 사용하는 대신, 단파 및 중파 램프를 사용하여 포토레지스트나 접착제가 있는 부분에만 에너지를 집중시킵니다. 이렇게 하면 도구 자체가 아닌 기판만을 가열할 수 있습니다. 이 방식은 더 깨끗하고, 더 빠르며, 예전에 사용하던 유해한 용매 기반의 촉매제도 필요 없습니다.<br> 하지만 단순히 열을 가하는 것만으로는 안 됩니다. 그렇게 하면 웨이퍼가 변형되거나 타버릴 수 있습니다.<br> 이 문제를 해결하기 위해, 우리는 적외선 배열과 고속 온도 센서를 함께 사용합니다. 이 램프들은 거의 즉시 최대 출력으로 작동하기 때문에, 에너지를 조절할 수 있습니다. 마치 조명의 밝기를 조절하는 것과 같아서, 온도를 매우 정확하게 조절할 수 있습니다.<br> 주의해야 할 점이 있습니다. 바로 발열량입니다. 이러한 배열들은 아주 작은 공간에 많은 열을 생성합니다. 만약 케이스에 충분한 열 배출 기능이나 강력한 공기 냉각 장치가 없다면, 필라멘트가 예상보다 훨씬 빨리 손상될 수 있습니다.<br> 그리고 무연 처리와 관련된 문제도 있습니다. 무연 납땜재와 접착제는 더 높은 온도와 빠른 가열 속도가 필요합니다. 적외선은 이러한 문제를 쉽게 해결할 수 있습니다. 왜냐하면 전체 기계가 과열되지 않으면서도 필요한 열을 공급할 수 있기 때문입니다.<br> 그 결과, 작업 환경이 훨씬 깨끗해집니다. 연기도 없고, 납 기반의 잔여물도 없습니다. 오직 광자들만이 작업을 수행합니다. 정말 효과적인 방법입니다.</p> http://ir-heat-global.com/ko/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼 처리용 적외선 램프 소켓"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 단지 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 그로 인해 전체 제품군이 폐기될 수도 있습니다. 열 관리는 협상의 대상이 될 수 없습니다. 우리는 웨이퍼 처리 장비용으로 이러한 적외선 램프 소켓을 개발했습니다. 이를 통해 공정 온도를 정확하게 유지할 수 있습니다.</p>