RTP 시스템 히터 문제 해결

라인에서 0.3°C만큼 드리프트하는 할로겐 RTP 히터는 포토레지스트 프로파일에 영향을 미치기에 충분하다—소프트 베이크 풋팅, 하드 베이크 교차 결합 편차. 로트는 갑자기 위태로운 상황에 놓인다. 이 업계에서 열 변동은 단순히 결함으로 발전할 가능성이 아니라 이미 진...