http://ir-heat-global.com/ko/tags/%ED%98%B8%ED%99%98%EB%90%98%EB%8A%94/ Recent content in 호환되는 on Global Infrared Heating Systems Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="진공 호환 적외선 히터"></p> <h1 id="리소그래피-작업장에서의-상황">리소그래피 작업장에서의 상황</h1> <p>베이크 온도가 0.5도만 변해도 CD가 흔들리기 시작한다는 점은 익히 알고 있을 것이다. 한 개의 입자만 있어도 웨이퍼 이상의 손실이 발생한다. 연속으로 소프트 베이크와 하드 베이크를 진행한 후 세척과 건조를 하는데, 각 단계가 열 예산을 누적시킨다. 히터 성능이 저하되기 시작하면, 계측 장비가 이상을 감지하기도 전에 수율이 떨어진다.</p>