웨이퍼 처리에 적외선을 사용하는 이유는 무엇인가요

생산 라인에서 열 드리프트는 단순히 그래프에만 나타나는 것이 아니라, 실제로 제품의 품질을 저하시킵니다. 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 2°C만큼의 온도 변화가 있어도 리소그래피 공정 전체에 악영향을 미칠 수 있습니다. 웨이퍼를 건조할 때 온도가 낮은 부분이 생기...