http://ir-heat-global.com/ko/tags/%EC%A0%80%ED%95%AD%ED%95%98%EB%8B%A4/ Recent content in 저항하다 on Global Infrared Heating Systems Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들"></p> <p>리소그래피 공정에서 EUV 리지스트 가열은 단순한 추가 단계가 아닙니다. 이는 바로 열 관리의 핵심 요소입니다. 약 반도의 온도 변동만으로도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 조금이라도 불순물이 섞이면 웨이퍼 전체가 망가질 수 있습니다. 리지스트 가열 장치의 성능이 떨어지면, 낭비된 자재와 추가 작업, 그리고 예상치 못한 가동 중단 시간 등의 비용이 발생합니다.</p>