http://ir-heat-global.com/ko/tags/%EC%9E%A5%EC%B9%98/ Recent content in 장치 on Global Infrared Heating Systems Hugo ko Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="파워 디바이스 웨이퍼 가열 램프"></p> <p>공정 현장에서 소프트 베이크 온도가 1°C만 변해도 포토레지스트 프로파일이 달라진다. 하드 베이크 온도를 조금만 높게 설정해도 현상 후 스커밍 현상이 발생한다. 파워 디바이스 웨이퍼는 큰 다이와 엄격한 열 예산을 가지므로 온도 불균일은 엣지 비드, 부정확한 CD 컨트롤, 그리고 무시할 수 없는 수율 저하로 나타난다.</p>