http://ir-heat-global.com/ko/tags/%EC%95%88%EC%A0%84/ Recent content in 안전 on Global Infrared Heating Systems Hugo ko Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/ko/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="웨이퍼 가열을 위한 안전 거리"></p> <p>리소그래피 공정에서는 램프와 웨이퍼 사이의 거리가 단순한 부가적인 요소가 아닙니다. 이 거리는 반드시 적절하게 설정해야 하는 중요한 파라미터입니다. 너무 가까우면 열 폭주나 포토레지스트의 가스 방출, 그리고 입자 발생 문제가 생깁니다. 반대로 너무 멀면 충분한 에너지를 공급할 수 없어 생산 효율이 떨어지고, 처리 시간도 길어집니다. 우리는 이러한 거리를 고려하여 가열 모듈을 설계하며, 이 거리를 핵심적인 공정 제어 요소로 간주합니다.</p>