http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E9%85%B8%E5%8C%96/ Recent content in 酸化 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:36:37 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/wafer-oxidation-heating-element/ Thu, 18 Jun 2026 04:36:37 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/wafer-oxidation-heating-element/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハ酸化用加熱素子"></p> <p>製造現場においては、歩留まりはほんのわずかな違いで決まってきます。焼成温度が変動すると、線幅にばらつきが生じます。酸化処理中に冷却部分ができてしまうと、ゲートオキシドの特性が不安定になります。私たちは、こうした問題を解決するために、ウェーハの酸化処理用ヒーターを特別に設計しました。なぜなら、重要な場所では熱管理を厳格に行う必要があるからです。</p>