http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 12:15:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Thu, 23 Jul 2026 12:15:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <p>なぜ、真空<a href="https://o-yate.com">状態</a>でシリコンウェーハを加熱する際には金が必須なのか<br> 真空状態でシリコンウェーハを加熱する場合、<a href="https://goldisgood.com">通常</a>のルールは適用されません。空気がないため、対流による熱の移動はあり得ず、完全に放射に頼るしかありません。<br> 問題は、もし通常の研磨済みのアルミニウムやステンレス鋼製の反射器を使った場合、それは単なる無駄遣いに過ぎません。投入したエネルギーの大部分がウェーハに届かず、筐体内部で消費されてしまいます。<br> だからこそ、私たちは金を使用するのです。</p> http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="真空対応赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアでは、状況はよくわかっています。ベーク温度が0.5℃ずれるだけで、CD（クリティカルディメンション）が変動し始めます。たった一つの異物で、ウェハ以上の損失が発生します。ソフトベークとハードベークを連続で実行し、その後洗浄・乾燥を行いますが、それぞれの工程が熱予算を累積させます。ヒーターの性能が低下し始めると、メトロロジーで<a href="https://o-yate.net">検知</a>される前に歩留まりが低下します。</p>