http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E7%82%89/ Recent content in 炉 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブラボ用高温炉"></p> <p>Fabフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく、熱予算である。ソフトベークやハードベークの温度が2℃ずれると、クリティカルディメンションの制御が崩れ、リソグラフィ欠陥が連鎖的に発生する。我々は赤外線加熱を核に設計した高温ファブラボ用炉を構築し、サブミリメートル単位の熱均一性を実現している。その結果、ウエハーごとに繰り返し可能な温度プロファイルを達成している。</p>