http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>赤外線を使って無鉛硬化を正しく行う方法<br> ウェーハを扱う際に、厳格な環境保護や無鉛化の要件を満たす必要がある場合、従来の対流式オーブンでは不十分だということがお分かりいただけるでしょう。対流式オーブンは処理速度が遅く、多くのエネルギーを消費します。</p> http://ir-heat-global.com/ja/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ファブラボ用高温炉"></p> <p>Fabフロアでは、フォトレジストのベークは選択肢ではなく、熱予算である。ソフトベークやハードベークの温度が2℃ずれると、クリティカルディメンションの制御が崩れ、リソグラフィ欠陥が連鎖的に発生する。我々は赤外線加熱を核に設計した高温ファブラボ用炉を構築し、サブミリメートル単位の熱均一性を実現している。その結果、ウエハーごとに繰り返し可能な温度プロファイルを達成している。</p>