http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E5%8C%96%E5%AD%A6%E7%9A%84/ Recent content in 化学的 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 06:23:06 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ Fri, 19 Jun 2026 06:23:06 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/fab-chemical-cabinet-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ファブ化学キャビネットヒーター"></p> <p>製造現場において、フォトレジストのソフトベイクの際に温度が1度でも変動すると、ライン幅が大きくずれてしまい、多くのワークが廃棄処分されてしまいます。<a href="https://o-yate.net">化学薬品</a>用のヒーターは、単なる快適性を向上させるためのものではありません。それらはプロセス制御に不可欠な装置であり、通過する各ウェーハの温度を一定に保つ役割を果たします。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、石英製のケース内に短波長の赤外線素子を搭載したヒーターを使用しています。これにより、迅速な反応速度と効率的な熱伝達が実現されます。目標としては、基板全体で±0.1℃以内の温度均一性を維持し、工程が交代しても温度が安定していることです。 制御機能により、フォトレジストのプリベイクやハードベイク時の設定値が維持され、その結果、バッチごとにエネルギー消費量が一定に保たれます。このシステムはクリーンルームクラス1～100に適合しており、密閉された接続部や低発ガス性の材料を使用することで、粒子数を抑えています。粒子を全く発生させないというのは単なる宣伝文句ではなく、設計上の要件です。そして、インサイト監視によってその点を確認しています。</p>