http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E5%8A%9B/ Recent content in 力 on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ Mon, 08 Jun 2026 05:20:31 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/power-device-wafer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="パワーデバイスウエハ加熱ランプ"></p> <p>ファブフロアでは、ソフトベイクの温度が1℃ずれるだけで、フォトレジストのプロファイルに変化が生じる。ハードベイクをわずかに高温で実行すると、現像後にスカミングが発生する。パワーデバイス用ウェハは大判ダイと厳格な熱予算を持つため、温度の不均一性はエッジビード、CDコントロールの乱れ、そして取り消しできない歩留まりの低下として現れる。</p>