http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E4%BA%92%E6%8F%9B%E6%80%A7%E3%81%8C%E3%81%82%E3%82%8B/ Recent content in 互換性がある on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="真空対応赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアでは、状況はよくわかっています。ベーク温度が0.5℃ずれるだけで、CD（クリティカルディメンション）が変動し始めます。たった一つの異物で、ウェハ以上の損失が発生します。ソフトベークとハードベークを連続で実行し、その後洗浄・乾燥を行いますが、それぞれの工程が熱予算を累積させます。ヒーターの性能が低下し始めると、メトロロジーで<a href="https://o-yate.net">検知</a>される前に歩留まりが低下します。</p>