http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E3%83%9D%E3%83%AA%E3%82%A4%E3%83%9F%E3%83%89/ Recent content in ポリイミド on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 05:10:45 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ Sat, 27 Jun 2026 05:10:45 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/polyimide-curing-for-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハ製造用ポリイミドの硬化"></p> <p>ファブ内では、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。それは、<a href="https://o-yate.com">寸法精度</a>を保証するための<a href="https://o-yate.net">重要</a>な工程であり、温度の安定性と密接に関連しています。もし加熱条件が変わってしまうと、応力が生じ、寸法が不安定になり、結果としてリソグラフィーやその後のパターニング工程に支障が出ます。そうなると、単に一回分の製品を失うだけでなく、スケジュールの遅れや、無駄になるクリーンルームの容量も失ってしまいます。</p> <h3 id="内部で何が重要か">内部で何が重要か</h3> <p>私たちは、再現性の高い加熱条件とウェハ全体の均一性を重視して硬化システムを設計しています。基板全体で±0.1℃の<a href="https://goldisgood.com">精度</a>を目指しています。短波長の赤外線加熱により、エネルギーが直接ポリイミド層に伝わるため、加熱時間が短縮され、チャンバーや周辺装置の温度も安定します。</p>