ウェーハ製造用ポリイミドの硬化

ファブ内では、ポリイミドの硬化処理は単なる加熱工程に過ぎません。それは、寸法精度を保証するための重要な工程であり、温度の安定性と密接に関連しています。もし加熱条件が変わってしまうと、応力が生じ、寸法が不安定になり、結果としてリソグラフィーやその後のパターニング工程に支障が出ます。そうなると、単に一...