http://ir-heat-global.com/ja/tags/%E3%82%BD%E3%82%B1%E3%83%83%E3%83%88/ Recent content in ソケット on Global Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800 http://ir-heat-global.com/ja/posts/infrared-lamp-socket-for-wafer-tool/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェーハツール用赤外線ランプソケット"></p> <p>リソグラフィー装置では、わずか0.5度の<a href="https://o-yate.net">温度</a>変動でも、重要な寸法が狂ってしまい、大量のウェーハが廃棄されることになります。熱管理は、交渉の対象ではありません。私たちは、ウェーハ処理時の温度を正確に制御するために、この赤外線ランプソケットを開発しました。これにより、すべてのウェーハにおいて、所定の温度が維持されます。</p> <p>内部的に重要なのは、このソケットを短波または中波のNIRエミッターと組み合わせることです。そうすることで、迅速かつ効率的に熱が供給されます。ウェーハ全体での温度均一性は±0.1℃程度であり、これによって柔軟な加熱や強制的な加熱のプロファイルが再現可能になります。出力は5,000時間以上にわたって安定し、<a href="https://henruite.com">強度</a>の変動は5％未満です。</p>