センサー on Global Infrared Heating Systems

ウェーハ処理装置用温度センサー

Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800

赤外線を使って無鉛硬化を正しく行う方法
ウェーハを扱う際に、厳格な環境保護や無鉛化の要件を満たす必要がある場合、従来の対流式オーブンでは不十分だということがお分かりいただけるでしょう。対流式オーブンは処理速度が遅く、多くのエネルギーを消費します。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 23 Jul 2026 12:02:01 +0800

無駄なエネルギーの浪費を止めよう：半導体製造装置におけるIR光の効率的な利用法

一般的な赤外線ランプは、どこにでも熱を放出してしまいます。つまり、360度全方位に熱が散らばってしまうのです。
ウェーハ処理室で作業を行う際、これは大きな問題です。ウェーハを加熱しようとしても、そのエネルギーの多くが目標地点を外れてしまい、装置の内壁に当たってしまいます。その結果、装置の筐体が非常に高温になり、人が火傷する危険性があります。また、冷却システムも過負荷になり、装置が破壊される恐れがあります。これはエネルギーの無駄遣いであり、現場の作業員にとっても悩みの種です。

水素センサー製造用ヒーター

Wed, 22 Jul 2026 04:44:50 +0800

なぜ水素センサーの製造に赤外線を利用するようにしたのか
水素センサーを作る際には、温度管理が非常に重要です。わずかな温度のずれがあっても、膜が壊れたり、触媒が付着しなくなったりする可能性があります。長い間、私たちは従来の抵抗式オーブンを使ってきました。しかし正直なところ、それは非効率的です。わずかな部品を適切な温度にするために、大量の空気を加熱することになります。

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800

MEMSウェーハを効率的に乾燥させる方法
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる際は、まるで「センサーを壊さないようにしなければならない」という高リスクなゲームをしているようなものです。水分を取り除く必要がありますが、同時に何の汚れも残してはいけません。また、ウェーハに過度な機械的ストレスをかけて変形させてしまってはいけません。

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Fri, 10 Jul 2026 12:24:49 +0800

ヒーターが生産効率を台無しにするのを防ぎましょう。
もしあなたがクラス100のクリーンルームを管理しているなら、粒子の発生という問題をよくご存知でしょう。これは静かなる破壊者です。一般的な加熱要素はガスや微細な破片を放出してしまいますが、半導体製造やスマートセンサーのパッケージングにおいては、わずかな微細な破片だけで生産効率が低下してしまいます。

私たちはその問題を解決する方法を見つけました。その秘訣は、高純度の合成石英です。