Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS

Sat, 11 Jul 2026 09:12:33 +0800

Come asciugare le lastre dei sensori MEMS senza problemi
Quando si asciugano le lastre dei sensori MEMS, in pratica si deve evitare che il sensore venga danneggiato. È necessario eliminare l’umidità presente sulla superficie della lastra, ma non si può lasciare alcuna traccia di sostanze residue. Inoltre, non si può applicare una forza meccanica eccessiva sulla lastra, altrimenti questa potrebbe deformarsi.

Ecco perché ci affidiamo ai riscaldatori a raggi infrarossi a corta lunghezza d’onda. Invece di utilizzare aria calda per asciugare la lastra, i riscaldatori a raggi infrarossi utilizzano la radiazione. È un metodo più diretto: in pratica, si agisce direttamente sulle molecole d’acqua presenti sulla superficie della lastra, facendole muoversi.

MEMS on Global Infrared Heating Systems

Riscaldatore per essiccazione dei wafer dei sensori MEMS