Elemento riscaldante in quarzo ad alta purezza

Wed, 01 Jul 2026 13:15:43 +0800

Nella linea da 300 mm, anche un leggero cambiamento di temperatura, pari a una frazione di grado, è sufficiente per far sì che il controllo delle dimensioni critiche non rispetti i parametri richiesti. Il riscaldatore deve rimanere pulito e mantenere il valore di temperatura impostato, con precisione costante, lotto dopo lotto.

Quello che conta davvero
Costruiamo l’elemento riscaldante utilizzando quarzo ad alta purezza, al fine di ridurre al minimo la formazione di gas e la contaminazione metallica. Il corpo in quarzo è progettato per garantire una risposta rapida e stabile, nonché una distribuzione uniforme del calore, così da mantenere i parametri di processo entro limiti precisi. In pratica, ciò significa che la temperatura sulla superficie del wafer rimane entro ±0,1°C. L’elemento è compatibile con ambienti di tipo “clean room” dalla classe 1 fino alla classe 100; inoltre, una volta raggiunto lo stato stazionario, non produce alcuna particella. La ripetibilità non è solo un concetto teorico: viene garantita attraverso una calibrazione precisa di ogni singolo dispositivo.

Cuarzo on Global Infrared Heating Systems

Elemento riscaldante in quarzo ad alta purezza