ऊष्मा को ठीक उसी जगह पहुँचाना
वेफर निर्माण प्रक्रिया में, बस अधिक वॉटेज देना ही समाधान नहीं है। ऐसा करने से ऊर्जा बर्बाद हो जाती है। वास्तविक समाधान तो यह है कि उन फोटॉनों को कैसे नियंत्रित किया जाए।
इसीलिए हम सोने से लेपित क्वार्ट्ज शील्डों का उपयोग करते हैं। इन्हें ऐसे ही दर्पणों के रूप में सोचें… ये ऊष्मा को मशीन के अंदर जाने से रोकते हैं, एवं उसे वापस वेफर पर ही भेजते हैं।
सोने का उपयोग क्यों?
सामान्य क्वार्ट्ज तो इन्फ्रारेड विकिरण को हर दिशा में जाने देता है। लेकिन जब सोने की पतली परत लगाई जाती है, तो ऊष्मा उस परत से नहीं गुजर पाती। हम सोने का ही उपयोग करते हैं, क्योंकि यह चाँदी या एल्यूमीनियम की तुलना में इन्फ्रारेड विकिरण को अधिक प्रभावी ढंग से परावर्तित करता है।
ऊष्मा से निपटना
अब, आप किसी भी तरह के काँच का उपयोग नहीं कर सकते। हम उच्च शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि यह ऐसी परिस्थितियों में भी टिक सकता है। जब लैंप चालू होता है, तो तापमान तुरंत बढ़ जाता है… अधिकांश सामग्रियाँ ऐसी परिस्थितियों में टूट जाती हैं… लेकिन क्वार्ट्ज ऐसी परिस्थितियों में भी टिक सकता है।
हम सोने की परत को वैक्यूम-डिपोजिशन विधि से ही लगाते हैं… ताकि वह वहीं ही रहे। यदि गर्म होने की प्रक्रिया के दौरान वह परत खराब हो जाए, तो समस्या हो जाती है… वेफर का तापमान घट जाता है… और प्रक्रिया विफल हो जाती है।
संतुलन
यही तो सबसे अच्छी बात है… जब ये शील्ड ऊष्मा को प्रभावी ढंग से परावर्तित करते हैं, तो आपको वांछित तापमान प्राप्त करने हेतु लैंपों को पूरी ताकत से चलाने की आवश्यकता ही नहीं है… यह तो टंगस्टन फिलामेंटों के लिए बहुत बड़ा फायदा है… क्योंकि ऐसे में वे लंबे समय तक काम कर सकते हैं।
लेकिन एक समस्या है… आपको इन शील्डों को हमेशा साफ रखना ही होगा।
वाकई… सोने की सतह पर एक भी उंगली का निशान या रासायनिक अवशेष होने से ही समस्या हो जाती है… ऐसी स्थिति में वेफर नष्ट हो जाता है।
अपने लिए अच्छा ही करें… इंस्टॉल करने से पहले ही उच्च शुद्धता वाले IPA से सब कुछ साफ कर लें… इसमें कुछ अतिरिक्त समय लगेगा… लेकिन ऐसा करने से आपको बाद में बड़ी समस्याओं से बचना होगा।