http://ir-heat-global.com/he/tags/%D7%91%D7%98%D7%99%D7%97%D7%95%D7%AA/ Recent content in בטיחות on Global Infrared Heating Systems Hugo he Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/he/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/he/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="מרחק בטיחות לחימום הוופר"></p> <p>בחדר הליתוגרפיה, המרחק בין המנורה לוואף אינו עניין של מה בכך – זו פרמטר חשוב שיש להגדיר נכון. אם המרחק קטן מדי, עלולה להתרחש בעיה של עלייה חמה מואצת של הטמפרטורה, פליטת חומרים מהוואף, ועלייה בכמות החלקיקים. אם המרחק גדול מדי, התהליך יהיה איטי יותר, וזמן העיבוד יארך יותר. אנו מתכננים את מודולי החימום שלנו בהתאם למרחק זה, כאשר המרחק נחשב לפרמטר חשוב בשליטה בתהליך.</p> <p>אנו משתמשים בקרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, עם מקור אור מסוג קוורץ-הלוגן ומערכת של פרוזות מחוזקות בסיבי פחמן. דבר זה מאפשר תגובה תרמית מהירה, עם מסה תרמית נמוכה. באזור הפעיל, האחידות של הטמפרטורה על פני הוואף היא ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשמרת בזכות מערכת מדידה אוטומטית בנקודת ההשוואה שעל המשטח החם. המערכת מתאימה לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, והחומרים והחוסמים שנבחרו מונעים יצירת חלקיקים במהלך העיבוד. פרופילי החימום השונים עומדים בדרישות, מכיוון שהטמפרטורה נשארת יציבה, גם במהלך שינוי הוואפים.</p>