http://ir-heat-global.com/he/tags/%D7%90%D7%95%D7%9C%D7%98%D7%A8%D7%94-%D7%A1%D7%92%D7%95%D7%9C/ Recent content in אולטרה סגול on Global Infrared Heating Systems Hugo he Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/he/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ Wed, 24 Jun 2026 04:24:36 +0800 http://ir-heat-global.com/he/posts/extreme-uv-euv-resist-heater-parts/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="חלקי חימום לחומרי ההגנה באור על סגול קיצוני (EUV)"></p> <p>בתהליך הליתוגרפיה בשיטת EUV, חימום חומר ה-Resist אינו רק שלב נוסף בתהליך – זהו למעשה הגורם החשוב ביותר שקובע את התנאים התרמיים. שינוי של חצי מעלה בטמפרטורה יכול לפגוע בשליטה על הממדים הקריטיים של השבב, וחלקיק בודד יכול להרוס את כל השבב. כאשר מערכת החימום אינה עובדת כראוי, התוצאה היא בזבוז חומרים, צורך בעבודה נוספת והפסקות לא מתוכננות.</p> <p><strong>מה באמת חשוב?</strong> אנו יוצרים את חלקי מערכות החימום של EUV תוך התמקדות בדבר אחד בלבד: שמירה על טמפרטורה יציבה. המערכת משתמשת במקורות אינפרה-אדום בעלי אורך גל קצר ובינוני, יחד עם חומרים מחוזקים בפיבר פחמן, כדי לשמור על אחידות תרמית ברמת השבב ברמה של ±0.1°C בכל אזור החימום. קצב העלייה בטמפרטורה נשלט בקפידה, מכיוון שהחימום העדין והחימום האינטנסיבי דורשים רמת טמפרטורה קבועה כדי לשמור על איכות החומר.</p>