Capteur de température pour outil de wafer

Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800

Comment réussir le processus de durcissement sans plomb à l’aide des rayons infrarouges
Si vous travaillez avec des outils destinés au traitement de puces électroniques et que vous devez respecter les règles strictes relatives à l’environnement et à l’absence de plomb, vous avez probablement réalisé que les fours de chauffage traditionnels ne suffisent pas. Ils sont lents et consomment beaucoup d’énergie.

C’est pourquoi la plupart d’entre nous ont recours au chauffage par rayons infrarouges. Le secret réside dans le fait que les rayons infrarouges ne chauffent pas l’air autour de la puce, mais transmettent directement l’énergie à sa surface. C’est une véritable rupture dans la manière dont nous concevons le chauffage. Au lieu de dépenser des kilowatts pour transformer une pièce métallique en sorte de “sauna”, nous utilisons des lampes à ondes courtes et moyennes pour chauffer précisément le photorésistant ou l’adhésif là où c’est nécessaire. On chauffe donc le substrat, et non l’outil lui-même. Cela permet d’éviter l’usage de catalyseurs à base de solvants, souvent problématiques.

Prise de lampe infrarouge pour outil à wafer

Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800

Sur le plan de la lithographie, même une petite variation de température de quelques degrés suffit à perturber les dimensions critiques des couches de photo-résist, ce qui peut entraîner l’abandon d’un lot entier de wafers. Le budget thermique n’est pas quelque chose avec quoi on peut négocier. Nous avons conçu cet embout pour lampe infrarouge afin que la température du procédé reste exactement là où elle doit être – en tout temps, sur chaque wafer.

Outil on Global Infrared Heating Systems

Capteur de température pour outil de wafer

Prise de lampe infrarouge pour outil à wafer