Bouclier en verre de quartz pour lampe de fabrication

Tue, 28 Jul 2026 05:27:11 +0800

Obtenir une chaleur précisément là où elle est nécessaire
Dans une usine de fabrication de wafers, augmenter la puissance n’est pas la solution. Si l’on utilise simplement beaucoup d’énergie pour résoudre le problème, on gaspille de l’énergie inutilement. Le vrai truc, c’est de savoir comment diriger ces photons vers leur destination. C’est pourquoi nous utilisons des boucliers en quartz recouverts d’or. On peut les considérer comme des miroirs qui empêchent la chaleur de s’échapper du châssis de la machine et qui la renvoient directement sur le wafer.

Élément chauffant en quartz à haute pureté

Wed, 01 Jul 2026 13:15:42 +0800

Sur la ligne de 300 mm, même une légère déviation de température, d’un dixième de degré à peine, suffit pour que le contrôle des dimensions critiques ne soit plus fiable. Le chauffage doit donc rester propre et maintenir une température constante, lot après lot.

Ce qui est vraiment important
Nous utilisons du quartz de haute pureté pour fabriquer les éléments chauffants, afin de réduire au minimum les émissions gazeuses et la contamination métallique. La forme du quartz permet une réponse rapide et stable, ainsi qu’une homogénéité thermique qui garantit un contrôle précis de la température. En pratique, cela signifie que la température sur toute la surface de la wafer reste comprise entre ±0,1 °C. Cet élément est compatible avec des environnements de classe 1 à classe 100, et il ne produit aucune particule une fois qu’il est en état stationnaire. La reproductibilité n’est pas un problème : elle est assurée grâce à une calibration précise de chaque unité.

Cristal De Quartz on Global Infrared Heating Systems

Bouclier en verre de quartz pour lampe de fabrication

Élément chauffant en quartz à haute pureté