http://ir-heat-global.com/fa/tags/mems/ Recent content in MEMS on Global Infrared Heating Systems Hugo fa Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800 http://ir-heat-global.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800 http://ir-heat-global.com/fa/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="گرمکن خشککننده ویفر حسگر MEMS"></p> <p>خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون مشکلات اضافی<br> هنگام خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS، در واقع در حال انجام یک کار پرخطر هستیم؛ چرا که باید از خراب شدن سنسور جلوگیری کنیم. لازم است که رطوبت از روی سطح ویفر از بین برود، اما نمی‌توانیم هیچ آلاینده‌ای روی آن باقی بگذاریم؛ همچنین نمی‌توانیم فشار مکانیکی زیادی به ویفر وارد کنیم تا منجر به تغییر شکل آن شود.</p> <p>به همین دلیل از گرمکن‌های مادون قرمز کوتاه‌امواج استفاده می‌کنیم. در عوض استفاده از هوای گرم، این گرمکن‌ها از تابش نور برای گرم کردن سطح ویفر استفاده می‌کنند؛ این روش مستقیم‌تر است. در واقع، ما مستقیماً با مولکول‌های آب روی سطح ویفر در تماس هستیم و به آن‌ها دستور می‌دهیم که حرکت کنند.</p>