http://ir-heat-global.com/fa/tags/%D8%A7%D9%85%D9%86%DB%8C%D8%AA/ Recent content in امنیت on Global Infrared Heating Systems Hugo fa Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/fa/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Wed, 17 Jun 2026 16:12:38 +0800 http://ir-heat-global.com/fa/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="فاصله ایمنی برای گرم کردن ویفر"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، فاصله بین لامپ و ویفر اهمیت زیادی دارد؛ این فاصله باید به درستی تنظیم شود. اگر این فاصله خیلی کم باشد، منجر به افزایش دما، خروج گازهای ناشی از فوتورزیست و ایجاد ذرات ناخواسته خواهد شد. اگر این فاصله خیلی زیاد باشد، عملکرد دستگاه ضعیف خواهد بود و زمان لازم برای پردازش ویفر افزایش خواهد یافت. ما ماژول‌های گرمایشی خود را بر اساس همین فاصله طراحی می‌کنیم و آن را به عنوان یک معیار مهم برای کنترل فرآیند در نظر می‌گیریم.</p>