Escudo de vidrio de cuarzo para lámpara de fabricación

Tue, 28 Jul 2026 05:27:11 +0800

Cómo dirigir el calor exactamente donde se necesita
En una fábrica de obleas, aumentar la potencia no es la solución adecuada. Si simplemente se aplica mucha energía al problema, se está desperdiciando energía. El verdadero truco radica en saber cómo dirigir esos fotones.

Por eso utilizamos escudos de cuarzo recubiertos de oro. Pueden considerarse como espejos que impiden que el calor se escape hacia el chasis de la máquina y lo devuelven directamente sobre la oblea.

Elemento calefactor de cuarzo de alta pureza

Wed, 01 Jul 2026 13:15:42 +0800

En la línea de 300 mm, basta con un calentamiento leve, incluso de solo una fracción de grado, para que el control de las dimensiones críticas no cumpla con los requisitos establecidos. El calentador debe mantenerse limpio y funcionar de manera precisa, vez tras vez.

Lo que realmente importa
Construimos los elementos calefactores con cuarzo de alta pureza, para minimizar al máximo las emisiones gaseosas y la contaminación metálica. El cuerpo de cuarzo está diseñado para ofrecer una respuesta rápida y estable, además de garantizar una uniformidad térmica que permite mantener un margen de error muy reducido durante el proceso. En la práctica, eso significa que el control de la temperatura en toda la superficie de la oblea se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C. El elemento es compatible con entornos de sala limpia desde la clase 1 hasta la clase 100. Además, no genera partículas alguna vez que llegue a su estado estable. La repetibilidad no es algo que se pueda discutir; se asegura mediante la calibración de cada unidad.

Cuarzo on Global Infrared Heating Systems

Escudo de vidrio de cuarzo para lámpara de fabricación

Elemento calefactor de cuarzo de alta pureza