Energieprüfung für die Fabriktrocknung

Sun, 12 Jul 2026 10:15:31 +0800

Verhindern, dass etwas explodiert: IR-Trocknung in der Fertigung
Wenn man Wafer oder Substrate in einer Fertigungsanlage trocknet, kennt man das Problem: Es geht dabei meist um Reinigungsreste, die – um es direkt zu sagen – äußerst entflammbar sind. In einer solchen Umgebung ist eine Standard-IR-Lampe nicht nur ein Werkzeug – sie stellt sogar eine Gefahr dar. Schon ein kleiner Funke oder eine heiße Kontaktstelle kann zu einer Katastrophe führen.

Wir lösen dieses Problem, indem wir auf offene Lampen ganz verzichten. Stattdessen verwenden wir eingehüllte IR-Systeme.

Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafers

Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800

MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme
Wenn man MEMS-Sensorwafer trocknet, spielt man im Grunde ein Spiel mit hohen Risiken – man muss dafür sorgen, dass der Sensor nicht beschädigt wird. Es muss jede Feuchtigkeit entfernt werden, doch gleichzeitig darf keine Art von Ablagerungen zurückbleiben. Zudem darf dem Wafer keinerlei mechanischer Druck zugefügt werden, der dazu führen könnte, dass der Wafer verformt wird.

Deshalb nutzen wir Kurzwellen-Infrarotheizgeräte. Anstatt heiße Luft zu verwenden, nutzt das Infrarot-Verfahren Strahlung. Das ist ein direkteres Verfahren – wir sprechen quasi direkt mit den Wassermolekülen auf der Oberfläche des Wafern und lassen sie sich bewegen.

Trocknen on Global Infrared Heating Systems

Energieprüfung für die Fabriktrocknung

Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafers