Sensor on Global Infrared Heating Systems

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800

Wie man die Aushärtung ohne Blei mithilfe von Infrarotwellen richtig gestaltet
Falls Sie mit Waferwerkzeugen arbeiten und den strengen Anforderungen bezüglich Umweltschutz und Vermeidung von Blei gerecht werden müssen, haben Sie vermutlich bereits festgestellt, dass herkömmliche Konvektionsöfen nicht ausreichen. Sie sind langsam und verbrauchen viel Energie.

Deshalb nutzen die meisten von uns Infrarot-Technologie zur Aushärtung.
Das Geheimnis dabei ist folgendes: Infrarotwellen erhitzen nicht die Luft um das Wafer herum – sie leiten die Energie direkt auf die Oberfläche des Wafers.
Es handelt sich dabei um eine völlig neue Art der Wärmebehandlung.
Anstelle dazu, Kilowattstunden zu verbrauchen, um einen großen Metallraum in eine Sauna zu verwandeln, verwenden wir Kurz- und Mittelwellenlampen, um die Photoleitmittel oder Klebstoffe genau dort zu erwärmen, wo es nötig ist. Dadurch wird nur das Substrat erwärmt – nicht das Werkzeug selbst. Das ist sauberer, schneller und ermöglicht außerdem die Vermeidung der schädlichen Lösungsmittel, auf die man früher angewiesen war.

Präziser IR Sensor für Wafern

Thu, 23 Jul 2026 12:02:01 +0800

Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Eine bessere Methode zur Handhabung von Infrarotstrahlung in Halbleiterfertigungsanlagen
Standardmäßige Infrarotlampen sind ziemlich unpraktisch – sie strahlen Wärme in alle Richtungen ab, also in einem Winkel von 360 Grad. Wenn man in einer Waferbearbeitungskammer arbeitet, ist das ein großes Problem. Man versucht zwar, den Wafer zu erhitzen, doch ein großer Teil der Energie geht daneben und trifft stattdessen die Innenwände der Anlage. Das Ergebnis? Die Gehäuse der Anlage werden so heiß, dass sie Menschen verbrennen könnten. Zudem muss das Kühlsystem überlastet arbeiten, um zu verhindern, dass die Anlage schmilzt. Das ist eine Verschwendung von Energie und stellt außerdem eine Belastung für die Mitarbeiter dar.

Heizer zur Herstellung von Wasserstoffsensoren

Wed, 22 Jul 2026 04:44:50 +0800

Warum wir auf Infrarotheizung für die Herstellung von Wasserstoffsensoren umgestiegen sind
Bei der Herstellung von Wasserstoffsensoren ist die Temperatur von entscheidender Bedeutung. Schon eine kleine Abweichung im Wärmeprofil kann dazu führen, dass die Membran beschädigt wird oder die Haftung des Katalysators nachlässt. Lange Zeit haben wir einfach traditionelle Widerstandsofen verwendet. Doch ehrlich gesagt: Sie sind sehr ineffizient. Man muss große Mengen an Luft erhitzen, nur um einen kleinen Teil auf die richtige Temperatur zu bringen.

Deshalb sind wir auf Kurzwellen-Infrarotheizung umgestiegen.

Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafers

Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800

MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme
Wenn man MEMS-Sensorwafer trocknet, spielt man im Grunde ein Spiel mit hohen Risiken – man muss dafür sorgen, dass der Sensor nicht beschädigt wird. Es muss jede Feuchtigkeit entfernt werden, doch gleichzeitig darf keine Art von Ablagerungen zurückbleiben. Zudem darf dem Wafer keinerlei mechanischer Druck zugefügt werden, der dazu führen könnte, dass der Wafer verformt wird.

Deshalb nutzen wir Kurzwellen-Infrarotheizgeräte. Anstatt heiße Luft zu verwenden, nutzt das Infrarot-Verfahren Strahlung. Das ist ein direkteres Verfahren – wir sprechen quasi direkt mit den Wassermolekülen auf der Oberfläche des Wafern und lassen sie sich bewegen.

Intelligente Sensorkapseln für Infrarot

Fri, 10 Jul 2026 12:24:49 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizsysteme Ihre Produktivität ruinieren.
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich das Problem: Das Austreten von Partikeln. Das ist der „stille Mörder“ in den Reinräumen. Herkömmliche Heizelemente neigen dazu, Gase abzugeben oder zu zerfallen. In der Halbleiterfertigung oder bei der Verpackung von Sensoren reichen bereits wenige mikroskopisch kleine Partikel aus, um die Produktivität zu ruinieren.

Wir haben eine Lösung dafür gefunden. Das Geheimnis liegt im hochreinen synthetischen Quarz.