Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 23 Jul 2026 12:08:20 +0800

Wie man die Aushärtung ohne Blei mithilfe von Infrarotwellen richtig gestaltet
Falls Sie mit Waferwerkzeugen arbeiten und den strengen Anforderungen bezüglich Umweltschutz und Vermeidung von Blei gerecht werden müssen, haben Sie vermutlich bereits festgestellt, dass herkömmliche Konvektionsöfen nicht ausreichen. Sie sind langsam und verbrauchen viel Energie.

Deshalb nutzen die meisten von uns Infrarot-Technologie zur Aushärtung.
Das Geheimnis dabei ist folgendes: Infrarotwellen erhitzen nicht die Luft um das Wafer herum – sie leiten die Energie direkt auf die Oberfläche des Wafers.
Es handelt sich dabei um eine völlig neue Art der Wärmebehandlung.
Anstelle dazu, Kilowattstunden zu verbrauchen, um einen großen Metallraum in eine Sauna zu verwandeln, verwenden wir Kurz- und Mittelwellenlampen, um die Photoleitmittel oder Klebstoffe genau dort zu erwärmen, wo es nötig ist. Dadurch wird nur das Substrat erwärmt – nicht das Werkzeug selbst. Das ist sauberer, schneller und ermöglicht außerdem die Vermeidung der schädlichen Lösungsmittel, auf die man früher angewiesen war.

Infrarot Lampenfassung für Wafer Werkzeuge

Tue, 30 Jun 2026 05:24:40 +0800

Auf der Lithografieebene kann schon eine leichte Temperaturabweichung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Abmessungen zu verfälschen – und damit ganze Chargen von Wafern unbrauchbar zu machen. Der thermische Bedarf ist keine Größe, mit der man verhandeln kann. Wir haben diesen Infrarotlampenanschluss für Waferbearbeitungswerkzeuge entwickelt, damit die Prozesstemperatur genau dort bleibt, wo sie sein muss – immer und bei jedem Wafer.

Was wirklich wichtig ist: Wenn man diesen Anschluss mit Kurzwellen- oder Mittelwellen-Infrarotemitttern kombiniert, erhält man eine schnelle, gleichmäßige Wärmeabgabe. Es wird eine Homogenität von ±0,1 °C in der Behandlungszone erreicht – das sorgt dafür, dass die Prozesse wiederholbar bleiben. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil, wobei die Intensitätsabweichungen unter 5 % liegen.

```Python on Global Infrared Heating Systems

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Infrarot Lampenfassung für Wafer Werkzeuge