http://ir-heat-global.com/de/tags/mems/ Recent content in MEMS on Global Infrared Heating Systems Hugo de Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800 http://ir-heat-global.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Sat, 11 Jul 2026 09:12:32 +0800 http://ir-heat-global.com/de/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Trocknungsheizer für MEMS Sensorwafers"></p> <p><strong>MEMS-Wafer trocknen – ohne Probleme</strong><br> Wenn man MEMS-Sensorwafer trocknet, spielt man im Grunde ein Spiel mit hohen Risiken – man muss dafür sorgen, dass der Sensor nicht beschädigt wird. Es muss jede Feuchtigkeit entfernt werden, doch gleichzeitig darf keine Art von Ablagerungen zurückbleiben. Zudem darf dem Wafer keinerlei mechanischer Druck zugefügt werden, der dazu führen könnte, dass der Wafer verformt wird.</p> <p>Deshalb nutzen wir Kurzwellen-Infrarotheizgeräte. Anstatt heiße Luft zu verwenden, nutzt das Infrarot-Verfahren Strahlung. Das ist ein direkteres Verfahren – wir sprechen <a href="https://henruite.com">quasi</a> direkt mit den Wassermolekülen auf der Oberfläche des Wafern und lassen sie sich bewegen.</p>