http://ir-heat-global.com/de/tags/labor/ Recent content in Labor on Global Infrared Heating Systems Hugo de Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/de/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ Sun, 07 Jun 2026 04:02:14 +0800 http://ir-heat-global.com/de/posts/high-temp-furnace-for-fab-lab/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Hochtemperaturofen für das Fab Labor"></p> <p>Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Photoresist nicht optional – es ist das thermische Budget. Eine Drift von 2°C beim Softbake oder Hardbake zerstört die Kontrolle der kritischen Maße und zieht Lithografie-Defekte nach sich. Unser Hochtemperatur-Fab-Lab-Ofen wurde um Infrarot-Heizung aufgebaut, abgestimmt auf thermische Homogenität im Submillimeterbereich. Der Gewinn sind reproduzierbare Temperaturprofile über die Waferfläche, Charge für Charge.</p> <p><strong>Technisch relevante Aspekte</strong><br> Wir verwenden Nahinfrarot (NIR)-Heizung, um die Wärme gezielt an die Prozessoberfläche zu bringen – so verhindern wir thermische Verzögerungen und kalte Stellen als versteckte Variablen. Das sorgt für ein stabiles, reproduzierbares thermisches Feld und ermöglicht engere Prozessfenster. Die Reinraum-Kompatibilität der Klassen 1–100 ist im Design verankert: Luftstromwege, Dichtungen und Kammermaterialien werden so ausgewählt, dass Partikelentstehung auf ein Minimum reduziert wird. Im Produktionsalltag führt das zu weniger Ausschuss und geringerer Nacharbeit.</p>