Heilung on Global Infrared Heating Systems

Reflektor für Wafern Aushärtungslampe

Sat, 25 Jul 2026 05:16:20 +0800

Wie man die Trocknung von Wafern richtig durchführt: Es kommt auf den Reflektor an
Die meisten von uns verwenden Infrarotstrahlung zur Trocknung von Halbleitern – schließlich ist diese Methode umweltfreundlich. Es werden keine chemischen Lösungsmittel oder Verbrennungsprozesse benötigt – stattdessen wird elektrische Energie in Wärme umgewandelt. Dadurch bleibt alles „grün“ und es fallen keine Einschränkungen bezüglich des Verzichts auf Blei an.

Aber hier ist das Problem: Die Lampe bekommt zwar all die Anerkennung, doch der Reflektor ist es, der die eigentliche Arbeit leistet.

Zertifizierter Hersteller von Infrarot Aushärtelampen

Sun, 19 Jul 2026 16:25:25 +0800

Hören Sie auf, zuzulassen, dass defekte Lampen Ihre Produktivität beeinträchtigen!
In einer Fabrik mit hohem Arbeitsaufkommen ist ein defekter Lichtstrahl nicht nur lästig – er ist ein Albtraum. Wenn eine Quarzröhre kaputtgeht, hört sie nicht nur auf zu funktionieren, sondern sprüht auch Glassplitter und Partikel auf den Siliziumkern. Ein einziger Defekt kann dazu führen, dass ganze Chargen weggeschmissen werden müssen. Das ist eine enorme Verschwendung von Zeit und Geld. Deshalb haben wir unsere Infrarot-Lampen so konstruiert, dass sie viel widerstandsfähiger sind als herkömmliche Lampen.

Aushärtung von Polyimiden in Wafernfabriken

Sat, 27 Jun 2026 05:10:45 +0800

In den Fertigungshallen ist die Aushärtung des Polyimides keine weitere thermische Bearbeitungsschritt – vielmehr handelt es sich dabei um einen Schritt, der für die Genauigkeit der Abmessungen entscheidend ist. Wenn sich das Heizprofil verändert, entstehen Spannungen, die Abmessungen verschleißen und die Produktqualität leidet – sowohl bei der Lithografie als auch bei den anschließenden Bearbeitungsschritten. In solchen Fällen geht nicht nur eine Charge verloren, sondern auch die verfügbare Produktionskapazität wird verschwendet, was sich nicht leisten lässt.

Was wirklich wichtig ist
Wir entwickeln das Aushärtungssystem so, dass es auf wiederholbare thermische Profile sowie eine hohe Homogenität auf Wafernebene setzt – mit einer Genauigkeit von ±0,1 °C über die gesamte Oberfläche hinweg. Die Kurzwellinfrarot-Heizung leitet Energie direkt in den Polyimiddraht, wodurch die Heizzeit kurz bleibt, während die Kammer sowie die umliegenden Geräte weiterhin thermisch stabil bleiben.