Wenn die Luft kalt wird, leeren sich kommerzielle Außenbereiche schnell. Die Besucher gehen weg, Veranstaltungen werden abgebrochen – und der...

In den Fertigungshallen ist die Aushärtung des Polyimides keine weitere thermische Bearbeitungsschritt – vielmehr handelt es sich dabei um einen...

In der Fertigungsstätte reicht bereits ein einziger Mikrometer Feuchtigkeit auf der Trennfilmoberfläche aus, um die Zellen zu verschleißen und ganze...

In halb offenen Geschäftsgängen ist der Komfort nie konstant. Zugluft weht von den Seiten herein, und die Temperatur schwankt je nach...

In der EUV-Lithografie ist die Erwärmung des Photoresists keine bloße Nebenbeschäftigung – sie ist vielmehr entscheidend für die Qualität der...

Wenn die Temperatur sinkt, will niemand warten, bis es wieder warm wird. Wir haben unsere elektrischen Heizgeräte mit dem Fokus auf Schnelligkeit...

In der Fertigungshalle ist das Trocknen des Photoresists weder ein einfacher Schritt noch etwas Unbedeutendes – es handelt sich dabei um einen...

Auf den kalten Badezimmerboden zu treten, ist eine Sache – in einen feuchten, muffig riechenden Raum zu treten, ist etwas ganz anderes. Herkömmliche...

Die Kälte kommt schnell. Schon ein Schritt auf einen kalten Balkon, in einen Wintergarten oder in die Garage genügt – und schon fühlt man sich nicht...

Auf der Fertigungsfläche kann bereits eine Abweichung von einem Grad bei der Erwärmung des Photoresists dazu führen, dass die Linienbreiten so stark...

In der Fertigung hängt die Qualität der Produkte von den Temperaturen ab. Eine Abweichung der Back-Temperatur führt dazu, dass die Linienbreiten...

Auf der Lithografieebene ist der Abstand zwischen der Lampe und dem Wafer keine unbedeutende Größe – es handelt sich dabei um einen Parameter, den...

Auf dem Fertigungsboden reicht ein Temperaturanstieg von 0,5 °C während der Aktivierung des Dotiermittels aus, um den Blätterwiderstand aus dem...

Auf dem Fertigungsboden verschiebt eine Drift von 1°C beim Softbake das Photoresist-Profil. Läuft das Hardbake auch nur minimal zu heiß, zeigt sich...

Auf dem Fertigungsboden ist das Backen von Photoresist nicht optional – es ist das thermische Budget. Eine Drift von 2°C beim Softbake oder Hardbake...