http://ir-heat-global.com/cs/tags/kompatibiln%C3%AD/ Recent content in Kompatibilní on Global Infrared Heating Systems Hugo cs Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/cs/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Wed, 03 Jun 2026 12:33:54 +0800 http://ir-heat-global.com/cs/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-global.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Infrazářič kompatibilní s vakuem"></p> <p>Na lithografické hale to znáte: posun o půl stupně v teplotě pečení a vaše CD začne kolísat. Jedna částice a neodhodíte jenom wafer. Spustíte soft bake a hard bake za sebou, pak čistíte a sušíte – každý krok posouvá tepelný rozpočet dál. <a href="https://o-yate.com">Pokud</a> <a href="https://o-yate.net">topen</a>í začne podávat horší výkon, výtěžnost klesá dřív, než to metrologie vůbec zaznamená.</p> <p><strong>Technické zaměření</strong> Postavili jsme vakuově kompatibilní infračervené topení kolem krátkovlnných NIR elementů a křemenné optiky, takže energie dopadá na wafer přímo a rychle. Po celé ploše chucku zůstává uniformita teploty waferu v rozmezí ±0,1°C a opakovatelnost je zajištěna uzavřenou smyčkou řízení s kalibrovaným senzorem sledovatelným vůči NIST. Rozhraní komory používá CF/ISO-K příruby a tělo je konstruováno pro čisté prostředí třídy 1–100, přičemž nulová produkce částic je ověřena in-situ počítáním částic. Hustota výkonu je nastavená tak, aby odpovídala profilům pečení fotorezistu a tepelná odezva je <a href="https://henruite.com">dostate</a>čně rychlá, aby sledovala kroky receptu bez překmitu.</p>