أجزاء سخان مقاومة الأشعة فوق البنفسجية المتطرفة (EUV)

في عملية الطباعة بالليثوغرافيا باستخدام تقنية EUV، فإن تسخين مادة الحماية المستخدمة في هذه العملية ليس مجرد خطوة إضافية، بل هو جزء أساسي من عملية...