Các bộ phận làm nóng cho chất cản bức xạ tia UV cực tím (EUV)

Trong quy trình in ấn bằng công nghệ EUV, việc điều chỉnh nhiệt độ của các bộ phận sử dụng để làm nóng chất cảm quang không chỉ là một bước đơn giản...