Làm thế nào để sử dụng công nghệ tia hồng ngoại một cách hiệu quả trong quá trình khô tự động hóa các linh kiện bán dẫn
Ngành công nghiệp này đang nỗ lực hết sức để áp dụng các tiêu chuẩn “xanh” và không chứa chì trong quy trình khô tự động hóa các linh kiện bán dẫn. Thật ra, đã đến lúc cần làm điều này rồi. Chúng ta chuyển sang sử dụng công nghệ tia hồng ngoại vì phương pháp này giúp chúng ta loại bỏ những chất dung môi hóa học độc hại và các chất xúc tác chứa kim loại nặng thường được sử dụng trong các lò sấy truyền thống.
Cách hoạt động của tia hồng ngoại
Hãy tưởng tượng về một lò sấy thông thường: nó mất rất nhiều thời gian để làm nóng không khí xung quanh vật thể cần khô. Ngược lại, tia hồng ngoại sử dụng bức xạ điện từ để truyền năng lượng trực tiếp vào bề mặt vật thể. Chúng ta có thể điều chỉnh khoảng bước sóng của tia hồng ngoại sao cho phù hợp với băng tần hấp thụ của lớp phủ hoặc chất kết dính trên bề mặt vật thể. Nhờ vậy, chúng ta chỉ cần làm nóng vật thể mà không cần làm nóng không khí xung quanh. Đó chính là lý do khiến chi phí điện tiêu thụ giảm đi – chúng ta không cần dùng quá nhiều năng lượng chỉ để làm nóng một vật thể kim loại lớn.
Vật liệu chế tạo thiết bị
Vì chúng ta đang nói về môi trường sản xuất sạch, chúng ta không thể để những mảnh gỉ sét rơi xuống bề mặt wafer silic. Do đó, chúng ta sử dụng thép không gỉ chất lượng cao để chế tạo vỏ thiết bị. Như vậy, vỏ thiết bị sẽ luôn sạch sẽ. Ngoài ra, bên trong thiết bị được thiết kế sao cho các sóng hồng ngoại được phản xạ trở lại vật thể cần khô, giúp duy trì nhiệt độ ổn định.
Một mẹo nhỏ: Hãy đảm bảo rằng hệ thống nối đất của thiết bị được thiết lập đúng cách. Những thiết bị sử dụng công nghệ tia hồng ngoại có thể tạo ra nhiều nhiễu điện từ nếu hệ thống chống nhiễu không được thiết lập tốt. Đây là chi tiết nhỏ nhưng lại có thể gây ra nhiều vấn đề nếu bị bỏ qua.
Những hạn chế và cách khắc phục
Tia hồng ngoại giúp quá trình khô diễn ra nhanh chóng – từ vài giờ xuống còn vài giây. Nhưng tốc độ này cũng đi kèm với những rủi ro. Nếu tăng công suất quá nhanh, sẽ xuất hiện sự chênh lệch nhiệt độ lớn, khiến bề mặt vật thể bị biến dạng hoặc xuất hiện hiện tượng “da hóa” – tức là lớp bề mặt khô trước, trong khi các chất dung môi vẫn còn ở phía dưới. Đó là lý do tại sao chúng ta cần cân bằng giữa công suất và tốc độ quay của thiết bị.
Chúng tôi thiết kế những thiết bị này như những giải pháp thay thế cho các lò sấy truyền thống. Chúng giúp giảm diện tích chiếm dụng và giảm chi phí, miễn là hệ thống làm mát có thể đáp ứng được nhiệt lượng sinh ra.