فیبرک فلور پر، بیٹری کے سیپریٹر فلم پر موجود صرف ایک مائکرون کی مقدار میں نمی بھی، سیلز کو ناکارہ بنانے کے لئے کافی ہے۔ آپ کو کلاس 100 کے معیارات کے مطابق کام کرنا ہوتا ہے، اور تھرمل عمل کو بار بار دہرایا جاسکنا چاہئے – یہ کوئی تخمینہ نہیں، بلکہ ایک مستقل عمل ہے۔ روایتی اوونوں میں درجہ حرارت میں تغیرات ہوتے ہیں، جس کی وجہ سے ذرات کی تعداد بڑھ جاتی ہے۔ یہ ایسا خطرہ ہے جسے برداشت نہیں کیا جاسکتا۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم نے سیمی کنڈکٹر ٹیکنالوجی کے معیارات کے مطابق ایک سیپریٹر فلم ڈرائر تیار کیا ہے؛ اس میں فلم کے اوپر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھا جاتا ہے، اور NIR حرارت کا استعمال کرکے فلم کو تیزی سے خشک کیا جاتا ہے، بغیر پولیمر سطح کو نقصان پہنچائے۔ یہ ڈرائر کلاس 1 سے کلاس 100 تک کے کلین روم ماحول میں کام کرسکتا ہے؛ اس کے اندرونی حصے چمکدار ہیں، اور کم گیس خارج ہونے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں تاکہ ذرات کی تعداد صفر رہے۔ فوٹوریزسٹ گریڈ کنٹرول سسٹم کی بدولت، بخارات کی شرح مستقل رہتی ہے، اور فلم کے ابعاد بھی مستحکم رہتے ہیں۔ اسے 24/7 چلایا جاسکتا ہے، اور پیشگی دیکھ بھال سے غیرمتوقع تعطلات سے بچا جاسکتا ہے، جبکہ عمل کا وقت بھی مستقل رہتا ہے۔
عملی طور پر اس کی اہمیت کیوں ہے؟
آپ کو کسی خاص صلاحیت کی ضرورت نہیں ہے، بلکہ مستقل نتائج حاصل کرنے کی ضرورت ہے۔ یہ ڈرائر درجہ حرارت کو مستحکم رکھتا ہے، لہذا ہر بار ایک ہی طرح کے نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ بہترین یکسانیت سے کناروں پر موجود نقائص کم ہوجاتے ہیں، پیداوار میں اضافہ ہوتا ہے، اور وارم اپ اور ریکوری کا وقت بھی کم ہوجاتا ہے۔ توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے، کیونکہ NIR حرارت فلم کو براہ راست گرم کرتا ہے، نہ کہ پورے چیمبر کو۔ لیتھوگرافی سے متعلق عملوں میں بھی یہی درستگی استعمال کی جاتی ہے؛ اس سے اہم ابعاد مستقل رہتے ہیں، اور نقائص بھی کم ہوجاتے ہیں۔
کن باتوں پر توجہ دینی چاہئے؟
NIR کے لئے روشنی کی سمت اور کنٹرول شدہ اخراج کی ضرورت ہے۔ اگر فلم میں عکاس اجزاء موجود ہیں، تو الگ سے لیمپ کی ترتیب اور کیلیبریشن کی ضرورت ہے۔ نئے چیمبروں میں اس کی تنصیب آسان ہے، لیکن پہلے سے موجود چیمبروں میں اس کے لئے کلین روم کے معیارات کے مطابق بجلی اور ہوا کی سہولیات کی ضرورت ہے، نیز سولوینٹ بخارات کو کنٹرول کرنے کی منصوبہ بندی بھی ضروری ہے۔ پہلے ہی ایک مختصر ٹیسٹ چلانا ضروری ہے، تاکہ گرم زونوں کا پتہ لیا جاسکے اور کیلیبریشن کی جاسکے۔ کیلیبریشن کے بعد، یہ ڈرائر ویفر ٹریک کی طرح ہی کام کرتا ہے۔