Як сушити пластини MEMS без проблем
Під час сушіння пластин датчиків MEMS ми, по суті, граємо у „гру на високі ставки“ – потрібно уникнути пошкодження самого датчика. Необхідно позбутися вологи, але при цьому не можна залишити жодних забруднень. Також не можна наносити на пластину достатню кількість механічних навантажень, щоб вона не деформувалась.
Саме тому ми використовуємо нагрівачі на коротких хвилях інфрачервоного випромінювання. Замість використання гарячого повітря ми використовуємо випромінювання. Це більш ефективний спосіб. Ми по суті „звертаємося“ безпосередньо до молекул води на поверхні пластини та змушуємо їх рухатися.
Очищення процесу
Традиційний спосіб сушіння є складним. Доводиться використовувати шкідливі хімічні розчинники чи потужні системи обдування повітрям. Інфрачервоне випромінювання є іншим рішенням – це „сухий“ процес. Немає необхідності використовувати хімікати чи каталізатори на основі свинцю – достатньо лише світла та тепла.
Ще одна перевага полягає у тому, що ми спрямовуємо випромінювання на конкретні діапазони поглинання води. Ми не марнуємо енергію на нагрівання вакуумної камери чи металевої конструкції пристрою. Ми нагріваємо лише те, що дійсно потребує нагріву. Це ефективний та екологічний спосіб.
Баланс енергії
Це не щось магічне. Щоб вода швидко випаровувалась, ми використовуємо кварцові лампи високої потужності. Вони негайно надають тепло пластині. Але ця потужність є дволикою – якщо таймінг буде неправильним, це може пошкодити структуру MEMS чи мембрану датчика. Щоб уникнути цього, потрібен точний контролер PID та пристрої, які автоматично закриваються після завершення процесу.
Економія простору в лабораторії
Однією з найкращих переваг є можливість економії простору. Оскільки ми не використовуємо великі канали для подачі повітря чи потужні вентилятори, розміри пристрою для сушіння зменшуються. Можна розмістити нагрівальні елементи прямо над платформою для пластин. Це робить весь пристрій меншим, а також полегшує управління чистою кімнатою. Це ще один ефективний спосіб створення приладів.