На виробничій лінії достатньо лише одного мікрона вологи на плівці-розділювачі акумулятора, щоб це призвело до короткого замикання елементів та знищення всієї партії продукції. Робота відбувається у умовах класу чистоти 100, а тепловий процес мусить бути повторюваним – як це передбачено стандартами метрології, а не як результат приблизних оцінок. Традиційні печі мають значні відхилення; параметри процесу сушіння також коливаються. Кількість частинок підвищується. Це ризик, який неможливо прийняти.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми створили сушарку для плівок-розділювачів, враховуючи вимоги до напівпровідникової промисловості: необхідно підтримувати однакову температуру по всій поверхні плівки з допуском ±0,1°C. Для швидкого та ефективного висушування використовується інфрачервоне опромінення. Камера сушарки придатна для роботи в умовах класу чистоти від 1 до 100; її внутрішні поверхні поліровані, а матеріали, з яких вона виготовлена, мають низький рівень випаровування, що дозволяє уникнути утворення частинок. Система керування процесом сушіння забезпечує стабільні показники випаровування та форми плівки. Сушарку можна використовувати 24/7, а система прогнозування несправностей дозволяє уникнути непланових зупинок, зберігаючи стабільні тайминги процесу.
Чому це ефективно на практиці
Не потрібні якісь особливі рішення – потрібна лише стабільність процесу. Ця сушарка забезпечує стабільні температурні умови, тож процес сушіння залишається однаковим у кожній партії продукції. Висока точність контролю температури дозволяє уникнути дефектів на поверхні плівки, підвищує якість продукції та скорочує час підготовки до процесу сушіння. Використання інфрачервоного опромінення дозволяє ефективно нагрівати саму плівку, а не всю камеру. У лініях, пов’язаних з літографією, така точність дозволяє зберігати стабільні розміри елементів та уникати дефектів.
На що потрібно звернути увагу
Для ефективної роботи інфрачервоного обладнання необхідний прямий огляд поверхні плівки та контроль її емісії. Якщо плівка містить відбивні добавки, потрібна спеціальна налаштування ламп та калібрування параметрів процесу сушіння. Встановлення сушарки у нових приміщеннях є простим. Однак при модернізації потрібна спеціальна система живлення та відведення парів розчинників, а також ефективна стратегія їх нейтралізації. Необхідно провести кілька тестових запусків, щоб визначити оптимальні параметри процесу сушіння. Після калібрування сушарка буде працювати з такою ж точністю, як і в лініях з обробкою пластин.