Isıtma elemanlarının waferlerin kalitesini bozmasına izin vermeyin!
Eğer Class 100 standartlarına sahip bir temiz oda kullanıyorsanız, bu durumun ne kadar kötü olabileceğini zaten biliyorsunuzdur. Bir miktar kaplama parçacığı veya lambadan sızan kimyasal gazlar, üretim veriminizi düşürür. Bu durum oldukça sinir bozucudur. Çevre için büyük para harcadınız, ancak standart bir IR lambası tüm üretimi mahvedebilir.
Bunu engellemenin bir yolu bulduk. Yarı iletkenler için kullanılan lambalarda yüksek saflıkta sentetik kuvars kullandık. Böylece hiçbir sorun yaşanmıyor.
Saflık konusu
Çoğu lamba, 600°C’ye ulaştığında duman çıkarmaya başlayan ucuz yapıştırıcılar veya contalar kullanır. İşte kirlilik de buradan kaynaklanır. Biz bu tür malzemeleri tamamen ortadan kaldırdık.
Neredeyse sıfır metal içeriğine sahip füzyonlu silika kullanıyoruz. Bu da çok önemli; çünkü yüksek sıcaklıklarda bile kirliliklerin yüzeye geçmesini engeller. Contalarımız ise sürekli ısınma ve soğuma koşullarına dayanacak şekilde tasarlanmıştır.
Isının doğru yerde kullanılması
Bu lambalar yüksek yoğunlukta kısa dalga radyasyonu üretir. Bunun avantajı, tüm odadaki havayı değil, doğrudan substratı ısıtabilmenizdir. Çok hızlıdır.
Hızlı oldukları için, HVAC sisteminizin aşırı ısılığı kontrol etmek için fazla çalışmasına gerek kalmaz. Bu sayede waferlerin kurutulması veya foto dirençlerin işlenmesi gibi işlemlerde hassas kontrol sağlanır.
Dikkat edilmesi gereken bazı noktalar
Yüksek saflıkta kuvars ısıtma açısından mükemmeldir, ancak kırılgandır. Herhangi bir darbeye dayanamaz. Eğer makineniz başlatılırken veya kapatılırken titreşiyorsa, tüpler kırılabilir. Montaj braketlerinin iyi sabitlendiğinden emin olun.
Ayrıca, yarı iletkenlerin gereksinimlerini karşılamak için bu lambalar inanılmaz derecede sıcak hale gelir. Soğutma sistemlerinizin doğru boyutta olduğundan emin olun. Aksi takdirde lamba soketleri eriyebilir.
Mevcut lambalarınızı değiştirmek istiyorsanız, bunlar yerine takılabilen lambalardır. Sadece uzunluğunu ve gücünü kontrol edin; ardından sorunsuz bir şekilde kullanabilirsiniz.