На этапе литографии разрыв между лампой и пластиной не является второстепенным фактором – это параметр, который необходимо правильно настроить. Если разрыв слишком мал, это приводит к тепловому выходу из-под контроля, выделению газов из фотополимера и появлению частиц. Если же разрыв слишком велик, то для достижения нужного результата требуется больше энергии, время обработки увеличивается, а циклы производства затягиваются. Мы проектируем наши нагревательные модули с учетом этого расстояния, считая его ключевым параметром процесса контроля.
Мы используем коротковолновое инфракрасное излучение от кварцево-галогенных источников и эмиттеров, сделанных из углеродных волокон. Это позволяет получить быструю реакцию нагрева при минимальной тепловой массе. На всей активной зоне однородность температуры на пластине сохраняется в пределах ±0,1°C. Повторяемость результатов обеспечивается за счет использования системы точного измерения температуры на точке отсчета. Платформа подходит для использования в чистых помещениях класса 1–100. Материалы и уплотнители выбираются таким образом, чтобы исключить образование частиц во время процесса обработки. Профили мягкой и жесткой обработки соответствуют требованиям, поскольку температура остается стабильной даже при изменении условий окружающей среды или смене пластин.
Польза от использования таких модулей заключается в том, что поведение критических размеров остается предсказуемым, снижается количество бракованных изделий. Потребление энергии снижается, поскольку источник нагрева включается только по мере необходимости и быстро охлаждается – нет лишнего теплового резерва. Надежность модулей подтверждается данными о времени их работы: устройства могут работать более 5 000 часов с отклонением производительности менее 5%. Нет случаев непланового простоя, связанного с проблемами в нагревательном модуле. Ваш график производства зависит от химических процессов и условий обработки, а не от времени восстановления печи.
Модуль имеет компактные размеры, но все же требуется достаточно пространства для циркуляции воздуха и технического обслуживания. Необходимо предусмотреть 200 мм пространства с той стороны, откуда поступает воздух. Интеграция модуля с другими компонентами осуществляется с использованием стандартных фланцев и интерфейсов 24 В. Однако профиль управления должен соответствовать характеристикам используемых материалов и структуры пластины. Настройка модуля занимает немного времени – достаточно скорректировать параметры PID и компенсацию эмиссивности в соответствии с требованиями процесса.