Как высушить пластины с МЭМС-датчиками без проблем
При высыхании пластин с МЭМС-датчиками необходимо действовать очень осторожно, чтобы не повредить сам датчик. Необходимо устранить влагу, но при этом не должно остаться никаких загрязнений. Также нельзя оказывать на пластину чрезмерное механическое давление, чтобы она не деформировалась.
Поэтому мы используем нагреватели с коротковолновым инфракрасным излучением. Вместо использования горячего воздуха для нагрева, инфракрасные нагреватели используют излучение. Это более эффективный способ. Мы фактически воздействуем непосредственно на молекулы воды на поверхности пластины, заставляя их двигаться.
Очистка процесса
Традиционные методы высыхания часто сопровождаются проблемами: приходится использовать опасные химические растворители или мощные системы компрессированного воздуха, которые издают шум, подобный звуку реактивного двигателя, и выбрасывают в окружающую среду вредные вещества. Инфракрасные нагреватели – это альтернатива. Это «сухой» процесс: нет утечек химикатов, нет катализаторов на основе свинца – только свет и тепло.
Ещё одно преимущество – возможность воздействия именно на те участки поверхности пластины, где сконцентрирована вода. Таким образом не тратится энергия на нагрев вакуумной камеры или металлической рамы устройства. Мы нагреваем только те части, которые действительно нуждаются в нагреве. Это экономит ресурсы и не наносит вреда окружающей среде.
Баланс между эффективностью и безопасностью
Конечно, это не волшебство. Чтобы вода быстро испарялась, мы используем мощные кварцевые лампы. Они создают сильный тепловой импульс на пластине. Но такая мощность может быть опасной, если время нагрева будет неверным. Это может привести к повреждению структуры датчика. Поэтому необходимо использовать точный контроллер PID, который автоматически останавливает процесс как только задача выполнена.
Экономия пространства в лаборатории
Одним из больших преимуществ является экономия пространства. Поскольку мы не используем объемных каналов или мощных вентиляторов, размер устройства сокращается. Можно разместить нагревательные элементы прямо над полкой для пластин. Это делает всю конструкцию меньше по размеру, что облегчает управление чистой комнатой. К тому же это способствует экономии энергии, не замедляя производственный процесс. Это гораздо более рациональный способ создания такого оборудования.