Ograniczenie emisji węgla w produkcji półprzewodników (bez uszkadzania sprzętu)
Podczas procesu mycia płytek półprzewodnikowych trzeba zachować delikatną równowagę. Trzeba szybko usunąć wilgoć z powierzchni płytki, ale nie można dopuścić żadnego zanieczyszczenia.
Przez długi czas ludzie polegali na konwekcyjnym ogrzewaniu – czyli dmuchaniu gorącym powietrzem we wszystkich kierunkach. Ale znaleźliśmy lepsze rozwiązanie: lampy podczerwone.
Problemy z wilgotnym środowiskiem
Procesy mycia są bardzo wymagające dla sprzętu. Pod wpływem ciągłej wilgotności i par chemicznych standardowe lampy szybko przestają funkcjonować. Aby uniknąć takich problemów, używamy specjalnych osłon z kwarcu oraz hermetycznych zamknięć. Dzięki temu wilgoć nie ma dostępu do elektrod. Ponadto staramy się uzyskać wysoką gęstość mocy – im szybciej powierzchnia płytki zostanie wysuszona, tym lepszy będzie efekt końcowy.
Rozwiązania „wodoodporne”
Gdy mówimy o „wodoodporności”, nie mamy na myśli zwykłego płaszcza przeciwdeszczowego. Chodzi o uszczelki odpornych na wysokie temperatury oraz szczelne elementy, które zapobiegają dostępowi pary wody do wnętrza urządzenia.
Jednak istnieje jeden problem: kwarc rozszerza się pod wpływem ciepła. Jeśli elementy mocujące są zbyt ciasne, rura może się po prostu złamać podczas cyklu grzewczego. To poważny problem, który staramy się uniknąć poprzez dokładne dostosowanie tempa rozszerzalności kwarcu.
Oszczędzanie energii (i zdrowia psychicznego)
Zastąpienie tradycyjnych pieców z powietrzem przefiltrowanym lampami podczerwonymi to ogromna korzyść dla planety. Zamiast marnować energię na ogrzewanie każdego cala powietrza w pomieszczeniu, lampy podczerwone dostarczają energię bezpośrednio na podłoże. To skuteczne rozwiązanie, które pomaga obniżyć zużycie energii na jedną płytkę. Dzięki temu łatwiej jest spełnić wymogi dotyczące „zielonych fabryk”.
Uwaga: te lampy wytwarzają dużo ciepła. Jeśli system chłodzenia i wentylacji nie jest wystarczający, czujniki w okolicy mogą się przegrzać. Aby uniknąć tego problemu, zalecamy użycie precyzyjnego systemu sterowania PID. Dzięki temu temperatura będzie kontrolowana, a nie przekroczona, co zapobiega problemom.