Przestańcie pozwalać, by elementy grzewcze niszczyły efektywność produkcji płytek krzemowych.
Jeśli pracujecie w pomieszczeniu o czystości klasy 100, na pewno znacie ten koszmar. Jeden mały kawałek powłoki lub odrobina gazu chemicznego wyciekającego z lampy może doprowadzić do spadku jakości produktu. To frustrujące – wydaliście mnóstwo pieniędzy na utrzymanie takiej środowiska, a potem standardowa lampa IR psuje całą partię produktów.
Znaleźliśmy sposób, by temu zapobiec. Przeszliśmy na użycie syntetycznego kwarcu o wysokiej czystości do produkcji lampek używanych w przemyśle półprzewodnikowym. Takie rozwiązanie eliminuje problemy związane z odpadaniem fragmentów materiału lub nieoczekiwanymi efektami ubocznymi.
Czystość jest kluczowa
Większość lamp używa tanich klejów lub uszczelek, które zaczynają „dymić” już przy temperaturze 600°C. To właśnie stąd dochodzi do zanieczyszczeń. My całkowicie eliminowaliśmy takie materiały. Używamy krzemionki w stanie stopionym, wolnej od metali. To ogromna zaleta, ponieważ eliminuje efekt „przenoszenia się zanieczyszczeń” na powierzchnię pod wpływem wysokiej temperatury. Nasze uszczelki są tak skonstruowane, aby wytrzymać ciągłe nagrzewanie i chłodzenie bez pęknięć lub wyrzucania cząstek węgla.
Ciepło tam, gdzie naprawdę jest potrzebne
Te lampy emitują promieniowanie o dużej intensywności. Zaletą tego rozwiązania jest to, że grzeje się sam substrat, a nie powietrze w całej komorze. Jest to szybkie – naprawdę szybkie. Ponieważ lampy szybko się nagrzewają, system HVAC nie musi pracować nadmiernie intensywnie, aby poradzić sobie z ciepłem. Dzięki temu można dokładnie kontrolować procesy takie jak odparowywanie wilgoci z płytek krzemowych czy suszenie fotorezystów.
Kilka rzeczy, na które należy zwrócić uwagę
Kwarc o wysokiej czystości doskonale nadaje się do generowania ciepła, ale jest kruchy. Nie może wytrzymać silnych udarów. Jeśli maszyna wibruje podczas uruchamiania lub wyłączania, rura lampy może się złamać. Upewnij się, że elementy mocujące są dobrze uszczelnione. To bardzo ważne. Ponadto, lampy te mogą osiągać ekstremalnie wysokie temperatury, aby spełniać wymogi przemysłu półprzewodnikowego. Sprawdź dokładnie rozmiary elementów chłodzących. Jeśli nie będą one odpowiednie, gniazdka lampy dosłownie się stopią.
Jeśli chcesz zastąpiić obecne lampy nowymi, te modele są przeznaczone do bezpośredniej zamiany. Wystarczy sprawdzić ich długość i moc, a wszystko będzie w porządku.