Na stanowisku litograficznym odległość pomiędzy lampą a płytką krzemową nie jest drobnostką – to parametr, który należy precyzyjnie dostosować. Jeśli odległość będzie zbyt mała, pojawi się problem z nadmiernym nagrzewaniem, uwalnianiem się gazów z materiału fotorezystowego oraz wzrostem liczby cząstek. Z drugiej strony, jeśli odległość będzie zbyt duża, efektywność procesu spadnie ze względu na niewystarczającą ilość energii, dłuższy czas obróbki i zmniejszenie szybkości cyklu produkcji. Nasze moduły grzewcze są projektowane tak, aby ta odległość była zachowana, a sam parametr odległości stanowi kluczowy element kontroli procesu.
Używamy krótkofalowego promieniowania podczerwonego, który pochodzi z źródła kwarcowo-halogenu oraz emitora wzmocnionego włóknem węglowym. Dzięki temu uzyskujemy szybką reakcję termiczną przy niskiej masie cieplnej. W całej strefie aktywnej jednorodność temperatury na poziomie płytki krzemowej wynosi ±0,1°C, a powtarzalność jest zapewniona dzięki pomiarom temperatury w punkcie referencyjnym na płycie grzewczej. Platforma nadaje się do pracy w pomieszczeniach klasy czystości 1–100. Materiały i uszczelki są dobrane tak, aby uniknąć powstawania cząstek podczas procesu obróbki. Profilowanie procesu obróbki przebiega sprawnie, ponieważ temperatura pozostaje stabilna, nawet podczas otwierania drzwi i wymiany płytek krzemowych.
Kluczową zaletą tego rozwiązania jest możliwość przewidywania zachowania krytycznych wymiarów płytek krzemowych, zmniejszenie ilości odpadów oraz mniejsza liczba koniecznych korekt. Zużycie energii spada, ponieważ źródło ciepła nagrzewa się tylko wtedy, gdy jest to konieczne, a także szybko chłodzi się – bez niepotrzebnego nagrzewania w stanie spoczynku. Niezawodność urządzeń widoczna jest w danych dotyczących czasu pracy: posiadamy urządzenia, które pracują przez ponad 5 000 godzin z odchyleniem temperatury poniżej 5%, a także bez żadnych nieplanowanych przerw spowodowanych problemami z modułem grzewczym. Twój harmonogram produkcji zależy od parametrów chemicznych i warunków eksponowania, a nie od czasu potrzebnego na schłodzenie pieca.
Moduł jest kompaktowy, ale nadal potrzebna jest odpowiednia odległość dla przepływu powietrza i dostępu do urządzenia. Zaleca się zachować odległość 200 mm po stronie wprowadzania materiału. Integracja modułu z innymi elementami jest prosta – wystarczą standardowe złącza i interfejsy 24 V. Jednak profil sterowania musi być dostosowany do specyfiki używanego materiału fotorezystowego oraz podłoża. Konfiguracja urządzenia zajmuje krótki czas – wystarczy dostosować parametry PID i kompensację emisyjności do specyfiki procesu.