Stop met het toestaan dat je verwarmingselementen je opbrengst van wafers verpesten
Als je een Class 100-schoonruimte hebt, ken je dit probleem vast al. Eén klein stukje coating of een beetje chemisch gas dat uit een lamp lekt, en je opbrengst daalt drastisch. Het is frustrerend. Je hebt veel geld geïnvesteerd in de omgeving, alleen om door een gewone IR-lamp je productie te verpesten.
Wij hebben een manier gevonden om dit te voorkomen. We zijn overgestapt op synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor onze lampen voor gebruik in semiconductoren. Geen afbraak, geen verrassingen.
Het belang van zuiverheid
De meeste lampen gebruiken goedkope lijmstoffen of sluitingen die al bij 600°C gaan ‘roken’. Hierdoor ontstaat vervuiling. Wij hebben deze materialen volledig vermijdt.
We gebruiken gefuseerd silicium met bijna geen metalen onzuiverheden. Dat is belangrijk, want dit voorkomt dat onzuiverheden onder hoge temperaturen naar het oppervlak migreren. Onze sluitingen zijn zo ontworpen dat ze de constante opwarming en afkoeling kunnen verdragen, zonder te barsten of koolstofdeeltjes af te scheiden.
Warmte op de juiste plek
Deze lampen stralen intensieve kortegolfstraling uit. Het voordeel is dat je hierdoor het substraat zelf verwarmt, en niet de lucht in de ruimte.
Het gaat snel. Heel snel zelfs. Omdat de lampen zo snel op temperatuur komen, hoeft het HVAC-systeem niet extra hard te werken om de hitte tegen te gaan. Dit zorgt voor nauwkeurige controle, wat nodig is bij processen als het drogen van wafers of het bakken van fotorezist.
Een paar dingen om op te letten
Hogezuiverd kwarts is geweldig voor het genereren van warmte, maar het is broos. Het kan geen klap verdragen. Als je apparaat trilt tijdens het starten of stoppen, kan de buis breken. Zorg ervoor dat je montagebeugels goed worden gedämpft. Dat is cruciaal.
Bovendien worden deze lampen enorm heet om aan de specificaties voor semiconductoren te voldoen. Controleer zeker of je koelsystemen goed zijn geconfigureerd. Als ze niet op de juiste manier zijn gecreëerd, kunnen de lampen smelten.
Als je wilt overstappen op deze lampen, dan zijn ze ontworpen als directe vervangingen. Controleer alleen de lengte en de vermogenswaarde, dan kun je ze direct gebruiken.